什么是匀胶机？匀胶机的滴胶系统，可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大，出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。
匀胶机使用什么电机呢？这里使用高速无刷电机3万转，匀胶的转速快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。 使用高速无刷电机具有结构简单，性能稳定的特点，替代有刷电机的碳刷磨损，寿命低，也替代交流电机的转速偏低，体积偏大。
为什么匀胶机需要中空轴呢？匀胶机主轴转速的稳定性和重复性是决定胶膜厚度均匀性和一致性的关键，起动加速度的大小是决定是否能将不同粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的决定因素。